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工業級四氟化碳
質量標準:
分子式：CF4 分子量：88
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成分 |
規范 |
單位 |
|
|
CF4 |
≥ |
99.98 |
%V |
|
空氣 |
≤ |
100 |
ppmv |
|
H2O |
≤ |
10 |
ppmv |
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CO2 |
≤ |
30 |
ppmv |
|
SF6 |
≤ |
10 |
ppmv |
|
其它鹵碳化合物 |
≤ |
30 |
ppmv |
|
酸度(以HF計) |
≤ |
0.3 |
ppmw |
性狀：
四氟化碳為永久氣體，在常溫常壓下為無色無臭的氣體?？諝庵胁蝗紵?，是比較穩定的無毒物質。
用途：
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于電子器件表面清洗，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
貯存：
陰涼通風、遠離熱源、倉溫不宜超過30℃，空瓶、滿瓶應分開存放。
運輸：
四氟化碳的運輸應符合《氣瓶安全監察規程》的相關規定。
包裝:
應充裝在經特殊處理的潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。
福建省邵武市永飛化工有限公司
地 址：中國福建省邵武市新氨路18 號
國際貿易部 電話：+86-599-6655932/6654968 傳真：+86-599-6654591
國內貿易部 電話：+86-599-6654866/6654968 傳真：+86-599-6655755
高純化學品部 電話：+86-599-6655536/6654968 傳真：+86-599-6655755
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